佳能发布KrF光刻机FPA-6400ES6a

佳能宣布将于 2026 年 12 月上旬发售面向存储和逻辑芯片的 KrF 扫描式光刻机 FPA-6400ES6a，官方称其产能为每小时 400 片晶圆，套刻精度达 4.0nm。设备新增 Hi-ALS 对准光源选项，并可应对最高 700μm 的晶圆翘曲；新电力控制技术可回收载台减速时产生的电力以供加速时使用，降低每片晶圆曝光所需能耗。