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滨化股份称G5级电子级氢氟酸进入头部晶圆厂供应链

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AI 综述

滨化股份表示,其G5级电子级氢氟酸已批量进入国内头部晶圆厂供应链,并出口日本、韩国、新加坡等市场。公司称,电子级氢氟酸主要用于晶圆清洗和湿法刻蚀;6N级高纯氟化氢则用于干法蚀刻、腔体清洁等电子特气环节。

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11月4日
  1. 格隆汇
    滨化股份G5级电子级氢氟酸已批量进入国内头部晶圆厂供应链

    滨化股份表示,其G5级电子级氢氟酸已批量进入国内头部晶圆厂供应链,并出口日本、韩国、新加坡等市场。公司电子级氢氟酸主要用于晶圆清洗、湿法刻蚀,6N级高纯氟化氢主要用于干法蚀刻、腔体清洁等电子特气环节。

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