中微公司刻蚀设备顺利付运

中微公司宣布，Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备全球首台机已顺利付运至国内重要集成电路研发制造客户。该设备面向GAA、3D NAND和3D DRAM等器件工艺需求，公司称其突破填补了下一代3D半导体器件制造关键刻蚀工艺自主化空白。

摘自 同花顺快讯

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。