超纯应材称5nm及以下刻蚀设备零部件稳定量产

超纯应材在互动平台表示，公司用于5nm及以下制程刻蚀设备的核心零部件已稳定量产。公司还称，设备整机采购零部件后需生产并交付，设备整机公司与零部件公司的收入确认时间点因此存在差异。

超纯应材10月20日在互动平台表示，公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。