华海清科发布中束流离子注入机

华海清科在2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上发布中束流离子注入机IHQ-900E。报道援引介绍称，该设备在剂量均匀性、角度、Dose Rate、beam Current及WPH等部分指标方面领先于国外竞品，整机国产化率为95.6%，预计2027年实现全部国产化。

摘自 同花顺快讯

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。