华洋精机与蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M

华洋精机与蔡司联合推出半导体高精度测量设备 COSMA-M，面向光罩、先进封装和晶圆测量，目前已有部分潜在客户进行送样验证测试。 华洋精机称，设备可提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm；应用范围包括 DUV 掩膜、TGV 和 CPO 等领域。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。