屹唐股份拟投资约18亿元建设集成电路装备制造基地

屹唐股份拟通过全资子公司在北京经济技术开发区投资建设集成电路装备制造基地项目，投资总额约18.00亿元。项目聚焦干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理等设备的规模化生产，投资费用包括土地出让金、厂房建设及设备购置等。