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中国电科在立方氮化铝/金刚石异质结材料与晶体管制备上取得突破

中国电科金刚石异质结获突破 为半导体材料制备提供新范式

AI 导读

中国电科产业基础研究院金刚石团队制备出立方相氮化铝/金刚石异质结材料,并研制出增强型异质结场效应晶体管。团队提出畴匹配外延生长模式,利用金刚石表面氢终端调控反应,形成高质量单晶异质结。

来源:东方财富快讯 · finance.eastmoney.com