苏大维格称维普半导体掩膜缺陷检测设备已进入国内头部逻辑芯片晶圆厂量产线

格隆汇11月6日丨苏大维格(300331.SZ)在投资者关系中表示，目前，维普半导体核心产品为 Storm3000 和Storm5000系列掩模缺陷检测设备，其中 Storm3000 为成熟产品及当前主要收入来源，Storm5000 为最新产品，对标科磊 5XX 系列产品。全球掩膜版缺陷检测由美国科磊（KLA）主导，日本 Lasertec 紧随其后。维普半导体是国内极少数实现掩膜版图形缺陷检测设备量产的企业，已进入国内头部逻辑芯片晶圆厂商量产线、实现了国外头部客户的验收和复购，并已向中国台湾头部客户发货。目前国内掩膜版检测设备国产化率较低，为个位数，公司目标是未来实现该领域较大份额的国产化替代。